MEMS传感器即微机电系统（Micro-electroMechanicalSystems），是指将精密机械系统与微电子电路技术结合发展出来的一项工程技术，它的尺寸一般在微米量级。封装技术是MEMS传感器成功的关键，其技术包括SIP（系统级封装）、WLP（晶圆级封装）、三维硅穿孔（TSV）等，通过三维堆叠技术，将微型化后的传感器的机械部件与其他微电子组件集成，最后根据不同的应用场景来采用不同的封装形式，最终组装而成。一、优势相比传统的机械传感器，MEMS具有着巨大的竞争优势：1.MEMS传感器具有着体积小、重量轻、功耗低的特点。其内部结构可达微米甚至纳米量级。同时其内部的机械部件由于微型化后会具