引言:等离子,有时也称为“被遗忘的物质状态”,是宇宙中最为丰富的物质状态。太阳、球形闪电、极光,甚至猎户座星云,都是自然界等离子过程作用的示例。尽管形态丰富,等离子物理学在一定程度上仍然是个谜团,是人们积极研究的主题。目前研究等离子体仿真的公司有COMSOL、Siemens、Ansys、普莱斯麦科技等等。应用领域等离子体数值仿真软件可以广泛应用于微电子设备与工艺、航空航天、核聚变等领域。在等离子体中存在着多场耦合过程;等离子体与器壁、电极及基片的相互作用;等离子体放电过程受外界多参数控制等因素。通过等离子体仿真,可以对等离子体发生器的设计提供参数优化;对等离子体工艺过程进行预测和优化;缩短等离